■激光器：IR/Green/UV Laser；

■兼容8寸/12寸晶圆；

■Wafer Mapping全自动上下料仓；

■双臂负压机械手臂精密定位；

■自主开发软件控制系统,方便系统管理和升级；

■条形码、⼆维码、图形、⽂字等自动设置；

■⽀持PLT、PCX、DXF、BMP等⽂件格式；

■⾃动编码,打印序列号、批号、⽇期等；

■与客户MES/SECS/GEM信息管理系统无缝对接。